维萨拉 PR-23-MS K‑PATENTS® 半导体行业用折光仪

适用于半导体液态化学品测量

该折光仪外形紧凑，流通池采用改良超纯 PTFE 而成，适用于半导体液态化学品测量。可通过 ¼ 至 1 英寸的皮拉 Pillar 或扩口 Flare 连接。

维萨拉 K-PATENTS® 半导体行业用折光仪 PR-23-MS 内置的流通池由改良超纯 PTFE 制成，旨在防止任何金属和易腐蚀部件与工艺过程中的液体接触。与液体接触的所有部件均为改良超纯 PTFE 和蓝宝石棱镜。

PR-23-MS 直接通过柱形或喇叭形配件串接进行安装。紧紧凑型设计方便集成到机台或机柜里，而无需占用过多有限空间。

该折光仪通过光学原理测量溶液折射率来获得溶液浓度。正是凭借这一原理，同一台仪器可用于各种溶液测量。

PR-23-MS 可提供连续的 4-20 mA 或数字测量信号，并在化学物质的浓度超出规定的范围时向控制系统提供即时反馈。PR-23-MS 是一种小型设备，易于安装，适用于散装化学品配送、使用点化学品调配、制程中浓度变化监测。

维萨拉 K-PATENTS® PR-23-MS 可帮助您实现：

• 防止错误的化学品进入制造流程。

• 优化蚀刻工艺并延长蚀刻液（例如加热的 KOH）的使用时间。

• 通常可使晶圆的产量提高 5%，并减少 FEOL 和 BEOL 清洗工艺中清洗化学品的消耗（例如 SC-1 或 EKC-265）。

• 对 CMP 浆料进行严格控制，并提高抛光的均匀性。

关键特性：

• 标称准确度为 0.1%（重量百分比），例如，盐酸。对于多组分溶液，测量信号则用为各组分总和。

• 独特光学核心构造光学器件。 

• 双探头连接：一个变送器可同时连接和管理两个传感器，第二个传感器可在之后轻松添加。

• 过程温度范围：-20°C – 150°C (-4°F – 300°F)

• 内置 Pt1000，快速温度测量及自动温度补偿功。

• ATEX 防爆认证，Zone 2，EX II 3 G EEx nA II T4。

• FM 防爆认证，Class I, Div. 2, Groups A, B, C and D, T6. CSA certified for Class I, Div. 2.

• CSA 防爆认证，Class I, Div. 2, Groups A, B, C and D, T4.

• cCSAus 电气安全认证，传感器：I 类，污染等级为 3 级；变送器：I 类，污染等级为 2 级；安装类别为 II 类。

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