5位半6517B静电计/高阻表 KEITHLEY

　吉时利5位半6517B静电计/高阻表提供的精度和灵敏度指标高于其他同类型仪表。它还具有完备的功能，使测量高阻和绝缘材料电阻率变得 简单。6517B具有425读数/秒的测试速率，比同 类型的静电计快很多，可以提供快速、简易的弱电流测量能力测量弱电流。

　　出众的性能指标

　　半机架型6517B静电计/高阻表具有特殊的低电流输入放大器，其输入偏置电流<3fA，噪声仅0.75fA p-p (峰-峰) ，输入端压降<20μV。对于接近理想的电路负载，其电压和电阻测量的输入阻抗是200TΩ。这些性能指标确保物理、光学、测量范围宽6517B型静电计/高阻表具有全自动量程，超过电流、电阻、电压和电荷测量满量程：

　　• 电流测量范围：1fA - 20mA

　　• 电压测量范围：10μV - 200V

　　• 电阻测量范围：50Ω - 1016Ω

　　• 电荷测量范围：10fC - 2μC

　　改进的高灵敏度测量

　　许多测试应用要求测量高级别材料的电阻率(面电阻率和体电阻率)。传统测 量方法是对样本施加足够高的电压，测量流经样本的电流，然后利用欧姆定律(R=V /I)计算其电阻。虽然高阻材料和器件产生很小的电流，很难准确进行测量，但利用 吉时利静电计和皮安计则可以成功地进行这种测量。

　　.即使利用高精度仪器，材料中固有的背景电流使得进行准确测量较为 困难。由于压电效应、电容效应和偏振效应，绝缘材料、聚合物和塑料通 常都显示出背景电流。这些背景电流一般等于或大于施加电压产生的电流。 在这些情况下，其测量结果往往是不稳定的，生成不准确的电阻或电阻率读数甚至错误的负值。吉时利 6517B型静电计/高阻表旨在解决这些问题，并为各种材料和元件提供一致、可重复和精准的测量，特别是与8009型电阻测试夹具一起使用时。

　　变换极性法

　　6517B型静电计/高阻表使用变换电极法，实际上消除了样本的背景电流。并剔除背景电流的第一级和第二级漂移。变换电极法施加一个正极性 电压，然后在指定延迟(测量时间)后测量电流。接着，改变电压极性， 使用相同的延迟，重新测量电流。连续重复这个过程，并根据4个最新电流测量结果的加权平均值计算出电阻。对大多数材料来说，通过7次反转(即舍弃前三个读数)，这个方法通常生成可高度重复、准确的电阻(或电阻率)测量结果。例如，利用8009型测试夹具0.3%的重复度，可对1mm厚的1014Ω-cm材料样本进行测量，在15秒测试周期内其背景电流低于200fA。

　　吉时利5位半6517B静电计/高阻表优点

　　•电阻测量可达1016 Ω

　　•电流测量范围1fA - 20mA

　　•最小电流量程输入端压降<20µV

　　•200TΩ 输入阻抗

　　•<3fA 偏置电流

　　•测试速率高达 425 rdgs/s

　　•噪声0.75fA p-p

　　•内置±1kV电压源

　　•独特的高电阻测量电压反接方法

　　•可选的插件式

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